發布時間：2022年04月19日 18時52分50秒

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　　MEMS進氣壓力傳感器具有結構堅固，抗震性好、尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅動電路簡單、穩定性好、壽命長等特點。可檢測包含燃氣、煙霧、氫氣、一氧化碳、氨氣、硫化氫、酒精、口氣、VOC等多種氣體。

　　MEMS進氣壓力傳感器是基于MEMS工藝的基微熱板和清潔空氣中低導電的金屬氧化物半導體材料組成。當環境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導率發生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。

　　熱電堆溫度傳感器是基于MEMS技術，其主要是由數百對熱電偶串聯而成。它采用的是塞貝克原理，當目標與環境之間存在溫度差時，這時傳感器輸出對應的電壓來檢測出目標存在或目標的溫度等。

　　熱電堆溫度傳感器具有高紅外響應率和高重復性以及高可靠和穩定性等特點。它在額溫/耳溫等非接觸體溫測量、家用電器(空調、護發吹風機、油煙機等)溫度測量與控制以及空氣調節系統、電力管理系統等領域應用廣泛。

　　微流量傳感器采用新一代MEMS進氣壓力傳感器芯片技術、它是利用熱力學原理檢測對流通道中氣體介質的流動，具有良好的精度和重復性。可精確測量極小流量，精度高，響應速度快，重復性好，經過完全校準和溫度補償，同時具有線性模擬電壓輸出，方便使用。

　　微流量傳感器在醫療儀器(呼吸機、氧氣機等)、便攜式儀器、工業過程控制及空氣和環境保護等領域有著廣泛應用。塑封壓力傳感器采用的是高精度MEMS進氣壓力敏感芯片及成熟的生產工藝封裝而成的傳感器。它具有尺寸小、精度高、寬工作溫度范圍、常溫高精度等特點。

　　MEMS塑封壓力傳感器常被應用于手持胎壓計、電子血壓計、空壓表、汽車胎壓檢測、過程控制系統、壓力校準儀器、高度計、大氣壓力測量等領域。MEMS進氣壓力傳感器在物聯網、智能制造、智能物流等方面起著非常重要的作用。近年來，國家傳感器產業發展的政策環境持續優化，隨著“制造強國戰略”、“互聯網+”行動計劃的大力推進，傳感器技術及傳感器產業的重要性將日益凸顯，可以預見，未來傳感器技術將是我國科技發展的重中之重!

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