MEMS壓力傳感器在各大應(yīng)用領(lǐng)域都被廣泛使用
MEMS壓力傳感器是最早開發(fā)的MEMS器件之一,現(xiàn)在與慣性傳感器(加速度計和陀螺儀)、麥克風及RFMEMS傳感器共享這一領(lǐng)域。202年,MEMS壓力傳感器收入占全球市場總額近15%。
如今,MEMS壓力傳感器幾乎在每個行業(yè)都被廣泛的使用了,通常用于消費類設(shè)備(智能手機和可穿戴設(shè)備)、工業(yè)系統(tǒng)(HVAC、過程控制和運輸)、醫(yī)療設(shè)備(血壓監(jiān)測器和呼吸設(shè)備)、航空航天和國防(用于高度和數(shù)據(jù))以及汽車應(yīng)用等各大領(lǐng)域。
而汽車一直是主要的市場,主動和被動安全系統(tǒng)都在使用傳感器,如胎壓監(jiān)測系統(tǒng)、制動助力器和側(cè)氣囊及HVAC和汽車座椅中,以提高乘客舒適度。
最近,其在混合動力汽車和電動汽車中發(fā)現(xiàn)了一種新的應(yīng)用,即電池監(jiān)測系統(tǒng)(BMS)中監(jiān)測電池熱失控,而大多數(shù)還是用于車輛動力傳動系:用于BAP(不良行為預(yù)防)、MAP(絕對壓力)、顆粒過濾器、燃油箱蒸發(fā)、EGR和監(jiān)測自動變速器油位。
另外隨著醫(yī)療市場的不段擴展,MEMS壓力傳感器所有市場都有所增加。醫(yī)療設(shè)備同比增長16%,這部分是因為呼吸設(shè)備和呼吸機的產(chǎn)量增加,幾乎每臺設(shè)備都會使用2到5個壓力傳感器。家庭醫(yī)療也在增加,以支持社交距離,導(dǎo)致日常檢查在家中進行,如使用MEMS壓力傳感器的血壓監(jiān)測儀產(chǎn)品,這種護理點(PoC)方法是一種更廣泛的醫(yī)療行業(yè)趨勢,從而使監(jiān)測更接近患者。
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