MEMS壓力傳感器在各大應用領域都被廣泛使用
MEMS壓力傳感器是最早開發的MEMS器件之一,現在與慣性傳感器(加速度計和陀螺儀)、麥克風及RFMEMS傳感器共享這一領域。202年,MEMS壓力傳感器收入占全球市場總額近15%。
如今,MEMS壓力傳感器幾乎在每個行業都被廣泛的使用了,通常用于消費類設備(智能手機和可穿戴設備)、工業系統(HVAC、過程控制和運輸)、醫療設備(血壓監測器和呼吸設備)、航空航天和國防(用于高度和數據)以及汽車應用等各大領域。
而汽車一直是主要的市場,主動和被動安全系統都在使用傳感器,如胎壓監測系統、制動助力器和側氣囊及HVAC和汽車座椅中,以提高乘客舒適度。
最近,其在混合動力汽車和電動汽車中發現了一種新的應用,即電池監測系統(BMS)中監測電池熱失控,而大多數還是用于車輛動力傳動系:用于BAP(不良行為預防)、MAP(絕對壓力)、顆粒過濾器、燃油箱蒸發、EGR和監測自動變速器油位。
另外隨著醫療市場的不段擴展,MEMS壓力傳感器所有市場都有所增加。醫療設備同比增長16%,這部分是因為呼吸設備和呼吸機的產量增加,幾乎每臺設備都會使用2到5個壓力傳感器。家庭醫療也在增加,以支持社交距離,導致日常檢查在家中進行,如使用MEMS壓力傳感器的血壓監測儀產品,這種護理點(PoC)方法是一種更廣泛的醫療行業趨勢,從而使監測更接近患者。
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